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真空泵是利用機械、物理、化學或物理化學的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設備，廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業。

真空泵的工作原理

利用偏心轉子在泵腔內形成通過旋轉產生體積的變化而將氣體排出泵外，主要是在吸氣過程中，吸氣腔體積增大，真空度降低，將容器內氣體吸入泵腔，在排氣過程中體積變小，壓強增大，最終通過油封將吸入的氣體排出泵外。

真空泵的應用范圍

石油化工、能源以及冶金制造業行業中，使用真空泵可以抽取酸性氣體、抽取易燃的爆炸性氣體，還可以用于蒸發、精餾、過濾、真空干燥等領域。

食品加工業領域，真空泵用于升華、干燥、脫水等。

小型真空泵在日常生活的應用如水族館、腳盆和咖啡機等。

真空泵也可以用于汽車制造業，使用負壓力形式，從而增加其推動力。

按工作原理分類

氣體輸送泵：氣體輸送型的真空泵又可分為變容真空泵和動量傳輸泵，其中變容真空泵有往復式、旋片式等多種，動量傳輸泵有分子真空泵、噴射真空泵、擴散泵、擴散噴射泵、離子輸運泵等多種。

氣體捕集泵：包括吸附泵、吸氣劑泵、吸氣劑離子泵、低溫泵等。

按真空度分類

可分為粗真空度真空泵、高真空度真空泵和超高真空度真空泵三種，其中高真空度真空泵又有滑閥式真空泵、旋片式真空泵、羅茨真空泵三種。

按真空泵結構分類

機械式：類似于壓縮機，屬于容積型的有往復式與回轉式結構，還有屬于動力式的渦輪分子泵，都屬于抽除式真空泵。

噴射式：有噴射泵與擴散泵兩種，還有將二者組合在一起的增壓泵，也都屬于抽除式真空泵。

吸著式：依靠物理或化學方法使氣體分子吸在泵壁表面，屬于捕集式真空泵。

按真空泵在系統中的工作職能分類

主抽氣泵：實現所要求壓力的主要工作泵。

預抽氣泵：當主抽氣泵不能在大氣狀態直接開始抽吸時，需預抽泵先抽至某一壓力，主抽氣泵方能進入工作。

前級泵：當主抽氣泵不能將所抽氣體直接排入大氣時，需串接前級泵排送。

維持泵：當主抽氣泵完成所要求的壓力停止工作后，由于系統泄漏或表面蒸發等原因，壓力可能升高，因此用維持泵繼續抽吸。